低価格スリットスキャン式ビームプロファイラ

ビームプロファイラ

 

スリットスキャン式ビームプロファイラ

 

スリットスキャン？カメラやピンホールとは異なる方式だね？

 

はい。スリットスキャンはピンホール式プロファイラに近い方式です。

ピンホールは小さな穴を抜ける光を計測しながらプロファイル計測しますが、スリットスキャンは、スリット（細長い隙間）を抜ける光を計測してプロファイルを計測します。

 

カメラやピンホールとは何が違うの？

 

スリットスキャンはカメラと比較すると比較的に高い出力のレーザ光をダイレクトで計測できるというメリットがあります。ピンホールと比較するとコスト的なメリットがあります。

 

スリットスキャン式ビームプロファイラは、計測するビームをスリットが横切ることにより、スリットを抜けるビームの強度を計測します。これにより、列ごとのビーム強度を観察することが可能となり、ビームプロファイル計測ができます。
ディテクタに入るビームはスリットを抜けた低強度のビームであるため、カメラ型のプロファイラと比較すると高出力のレーザの計測が可能となります。

 

 

原理

ビームを横切るスリットが、測定対象のビームを分割しながら計測します。

スリットは回転するドラムの上に、直交する2方向で切られており、ビームの縦方向、横方向を一度に計測することができます。

 

 

製品

DL-BH-190-1100-A DL-BH-500-1700-A DL-BH-900-2700A
波長 190-1100nm 500-1700nm 900-2700nm
最大パワー 10W 10W 10W
ディテクタ Si InGaAs InGaAs
測定ビーム径 2.5um - 10mm 2.5um - 10mm 2.5um - 10mm
スキャンレート 2 - 20Hz 2 - 20Hz 2 - 20Hz
測定分解能 0.1um 0.1um 0.1um